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ITO透明导电玻璃镀膜生产线

ITO透明导电玻璃镀膜生产线
北京市邦洲科贸有限公司为从事导电玻璃生产线的研发、安装和销售的专业公司。本公司拥有一批高级专业技术及管理人才,所研制的T850型ITO导电玻璃设备采用欧、美、日等各国的先进技术,并针对国内市场的特性而推出。 T-850型ITO导电玻璃生产线生产TN,STN导电玻璃,月产量达20-30万片一.设计参数1.产量:TN型玻璃20万片/月,并能满足STN玻璃的生产2.系统极限真空:优于8X10-6托3.动态真空:2小时应达到10-5托数量级4.工作节拍:≤150秒5.预留每月≥30万片产量的所有接口(TN型玻璃)二.设备配置:详见T-850型ITO导电玻璃生产线技术资料1.主要设备清单:进片室、进片锁气室、入口缓冲室、SiO2镀膜室、极间缓冲室、ITO镀膜室、出口缓冲室、出口锁气室、出片室、传输系统、回架系统、层流罩及洁净系统、全套日本和泉?富士?三菱?松下电器控制件、全U型玻璃基片架13台、软嵌薄型加热装置42套、ZJ-600英国爱德华产罗茨泵2台、国产ZX-70旋片泵2台、国产ZH-30滑阀泵3台、国产ZJ-300罗茨泵1台、国产ZJ-150罗茨泵2台、国产H-150滑阀泵2台、国产F250/1600分子泵16台、连接真空泵和真空室的全套管道及阀门、气体流量计6套、真空测量仪5套、国产7KW直流(DC)溅射电源4套、国产10KW射频溅射电源6套、加热电源及控制系统、单通道高效直流溅射阴极4套、单通道高效直射频溅射阴极6套、全套氟橡胶密封圈2.助设备清单空气压缩机2台、空气干燥机及其过滤系统一套、水塔冷却系统1套、带反渗透(RO)的水处理系统一套(4吨/小时)、冷水机系统一套、贮水桶2只、混合离子交换柱2套3.备品备件清单F250/1600复合分子泵2台、真空测量仪1套、气体流量计1套、全U型玻璃基片架2台、靶座氟橡胶密封圈共10套、真空室阀门密封圈共6套、各种传动座密封圈共30套、真空室体大门密封圈共10套、各种管道密封圈共30套、各种规格的同步带共20根、靶座绝缘套共50个、F250/1600复合分子泵2台、真空测量仪1套、气体流量计1套、全U型玻璃基片架2台、靶座氟橡胶密封圈共10套、真空室阀门密封圈共6套、各种传动座密封圈共30套、真空室体大门密封圈共10套、各种管道密封圈共30套、各种规格的同步带共20根、靶座绝缘套共50个、基片架绝缘套共2套、各种规格传动轴承30个、各种真空测量规管20支、软嵌型加热器5根、ITO阴极铜背板4块、SiO2阴极铜背板6块、变频传动电机1台、变频控制器1台、加热功率控制器1台4.技术资料设备安装布置图、设备使用操作说明书、电器原理接线图、水冷系统连接图、气路系统连接图、各种外购部件使用操作说明书三.公用工程及安装标准:1.占地占地面积:900-1000平方米2.净化条件:装卸片环境为100级净化≥50平方米 设备使用环境为10000级净化≥450平方米 辅助设备使用环境做防尘处理≥450平方米3.所需电力:AC380V?50Hz?三相?450KVA4.水耗量:15吨/小时
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